项目效果图
西部网讯 作为陕西发展半导体集成电路产业的重点项目,由陕建七建集团施工的8英寸高性能特色工艺半导体集成电路生产线建设项目建设进度条在持续刷新。近日,记者获悉,该项目将于今年年底前全面封顶,建成后将填补陕西省8英寸半导体制造领域的空白。
走进项目工地,可以看到身穿安全装备的建筑工人们忙碌穿梭,他们或是操作着大型机械设备,或是在进行细节处的焊接与安装,每一道工序都严格遵循着既定计划与质量标准,安全监督员不时穿梭其间,确保施工安全无虞。
记者了解到,8英寸高性能特色工艺半导体集成电路生产线建设项目位于西安市高新综合保税区内,总建筑面积约17.39万平方米,由生产厂房、生产调试厂房、综合动力站、特气站、硅烷站及各类库房等17栋单体组成。
项目施工现场
项目建成后主要服务于技术密集型的半导体产业,为了满足电子无尘洁净厂房的生产要求,此次建设的厂房为高洁净度生产厂房,核心生产区域可达“十级”洁净度(ISO 1级)洁净度,所谓“十级(ISO 1级)”洁净度,即代表空气粒子浓度,0.1μm浓度≤10个,0.2μm浓度≤2个,这是洁净度的最高等级,比医院最高等级手术室洁净度的要求提高了100倍。
该项目技术质量组副组长王海松告诉记者,为保证生产设备的安装精度,项目厂房建设采用板厚内含70厘米、80厘米两种规格的华夫筒的华夫板(利用楼板内孔洞形成回风通道的楼板),面积达14000余平方米的华夫板高低偏差严格控制在2毫米内。
“项目建成投用后,芯片生产设备置于华夫板之上,整车间利用新风系统送气,送风单元保证垂直气流,并通过华夫板回风通道回流,循环运行,最终保证车间洁净度。”王海松说。
项目经理李虎让说,为满足后期半导体设备能够更便捷地进行移动与更换,项目房盖钢桁架跨度较大,单跨跨度就能达到43.2米和46.8米,因安装工程属于超过一定规模的危险性较大的分部分项工程,项目团队采取有效的安全技术措施确保钢屋架的吊装,将上厂房划分为4个施工段,每个施工段配合2台50吨汽车吊用上楼面拼装,极大提高了施工效率。
陕建七建集团8英寸高性能半导体项目指挥部现场常务执行指挥长杨晓栋说,该项目建设工期短、节奏快、资金量投入大。近半年,他们平均每天投入施工人员1300余人,在保证零安全事故的前提下,完成了14000平华夫板的施工,完成了5万平高精地坪的精细化施工,总体上完成了约17万平的混凝士结构施工。“未来项目建成后,将弥补陕西芯制造业短板,增强陕西集成电路产业竞争力和聚集力,促进产业上下游顺畅衔接。”
编辑:韩睿